Présentation du produit

L'équipement RTP de bureau Adaptable aux-plaquettes de petite taille, l'équipement présente une conception compacte et un placement flexible. Le contrôle de la température couvre la température ambiante jusqu'à 800 degrés (thermocouple) et 500 degrés à 1 200 degrés (pyromètre infrarouge), avec une vitesse de chauffage maximale de 150 degrés/s (plaquette uniquement). L'uniformité de la température est inférieure ou égale à ± 3 degrés (inférieure ou égale à 600 degrés) / inférieure ou égale à ± 0,5 % (> 600 degrés) et la reproductibilité est de ± 1 degré, assurant un contrôle précis de la température. Il utilise des modes de chargement/déchargement manuel et d'ouverture/fermeture de porte, est équipé d'un avertisseur sonore et de voyants d'avertissement et prend en charge le contrôle par PC. L'équipement RTP de bureau peut répondre aux exigences de base de traitement thermique rapide telles que le recuit par implantation ionique et la croissance d'oxydes dans la R&D en laboratoire et les scénarios de production en petits lots-.

Avantages

Hautement adaptable à l'espace : la conception compacte permet un placement flexible, nécessitant un minimum d'espace et adaptée aux laboratoires ou aux environnements de production en petits lots-avec un espace limité.

Contrôle précis et stable de la température : l'uniformité de la température atteint moins ou égale à ± 3 degrés (inférieure ou égale à 600 degrés) / inférieure ou égale à ± 0,5 % (> 600 degrés), répondant aux exigences de précision de la température des processus de base.

Fonctionnement sûr et intuitif : équipé d'un buzzer et de voyants d'avertissement, il indique rapidement l'état de l'équipement, réduisant ainsi les risques opérationnels. Le contrôle PC est pris en charge et le réglage des paramètres est pratique.

Bonne adaptabilité aux processus de base : Supporte une pression minimale de 30 mTorr et une teneur en oxygène de<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Applications

Recuit d'implantation ionique

Croissance simple d’oxyde/nitrure

Prétraitement des alliages de siliciure

Alliage par contact ohmique préliminaire

Autre traitement thermique pour petits échantillons

Paramètres

Modèle	RTP-100
Taille de la plaquette	6 pouces et moins
Taille	910 mm × 860 mm × 695 mm (L × P × H)
Plage de température	RT~~800 degrés (contrôlé par thermocople) 500 degrés ~ 1200 degrés (contrôlé par pyromètre)
Taux de chauffage maximum	150 degrés/s --- Plaquette uniquement 20 degrés/s --- porteur SiC 30 degrés/s --- Revêtement support en graphite SiC
Uniformité de la température	Inférieur ou égal à ±3 degrés @ Inférieur ou égal à 600 degrés Inférieur ou égal à ±0,5 % à ＞600 degrés
Répétabilité de la température	±1 degré
Nombre de lampes/SCR	29 pièces / 10 lots
MFC maximum	4
Pression la plus basse	30mTorr
Taux de fuite	10 mTorr/min
O₂Pourcentage	<3 ppm
Puissance maximale/moyenne	60/ 36 kW
Tension	380V/ 60HZ/ triphasé 5 fils
Méthode de contrôle	Contrôle PC

FAQ

Le buzzer retentit et le voyant s'allume après le démarrage ?

Tout d'abord, appuyez sur "RESET" pour arrêter l'alarme. Vérifiez si la porte de la cavité est bien fermée et si le verrou de la porte est sécurisé. Si le problème persiste, vérifiez le câblage du capteur de serrure de porte.

Quelles précautions faut-il prendre lors du chargement et du déchargement manuels des plaquettes ?

Portez des gants propres pour éviter toute contamination. Manipulez la plaquette doucement pour éviter les collisions et assurez-vous qu’elle est centrée sur le support.

Comment puis-je basculer entre le contrôle de la température par thermocouple et par pyromètre infrarouge ?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 degrés. Le système se calibrera automatiquement après la commutation.

La vitesse de chauffage n'est pas de 150 degrés/s (plaquette uniquement) ?

Confirmez qu'il n'y a pas de support (les supports SiC/graphite limiteront le tarif) ; vérifiez si toutes les lampes fonctionnent correctement. Les composants défectueux nécessitent-un service après-vente.

L'uniformité de la température dépasse ± 3 degrés (inférieure ou égale à 600 degrés) ?

Confirmer la plaquette Inférieur ou égal à 6 pouces ; vérifiez la puissance de la lampe dans le logiciel, si elle est anormale, suivez les conseils d'un ingénieur pour un réglage précis ; nettoyez régulièrement la chambre à quartz puis calibrez.

Oxydation de la surface des plaquettes ?

Vérifiez si le vide est inférieur ou égal à 30 mTorr (s'il est insuffisant, vérifiez les fuites et remplacez l'huile de la pompe à vide) ; confirmer la teneur en O₂ < 3 ppm (en cas de dépassement, remplacer la bouteille de gaz/vérifier l'absence de fuites dans la canalisation).

Points clés de l'entretien quotidien ?

Essuyez la chambre à quartz avec de l'alcool chaque semaine, vérifiez l'ensemble de la lampe tous les 3 mois (remplacez-le après 1 000 heures), vérifiez le vieillissement de la bague d'étanchéité tous les mois, assurez-vous que le refroidissement par eau ne dépasse pas 70 degrés.

L'alarme basse pression de l'équipement RTP de bureau ?

R : Arrêtez le processus, vérifiez la canalisation de vide, redémarrez la pompe ; si toujours anormal, vérifier le débit de fuite (si supérieur à 10 mTorr/min, localiser et réparer la fuite).

Le PC ne peut pas lire les paramètres ?

Vérifiez le câble de communication entre l'équipement et le PC, redémarrez et réessayez ; s'il n'y a toujours pas de données, vérifiez le câblage du capteur ou contactez le service-vente pour vérifier le pilote logiciel.

Comment arrêter l'équipement en cas d'urgence ?

Appuyez sur « EMO Emergency Stop » pour couper la source de chaleur et ouvrir le couvercle ; une fois le problème résolu, appuyez sur « RESET » pour réinitialiser et redémarrer.