Notre-équipement RTP d'oxydation à haute température est un outil thermique de base pour la-production de semi-conducteurs à grande échelle-sa tâche principale consiste à créer des films SiO₂ propres et denses sur des substrats de silicium, parfaits pour la fabrication de dispositifs CMOS, IGBT et MEMS. Il est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, l'électronique des nouvelles énergies, les composants électroniques haut de gamme et même dans les universités/laboratoires de recherche pour la R&D et la production pilote de semi-conducteurs.
Comment choisir le bon modèle
Choisir le bon dépend de vos besoins et processus de production.-voici une description simple :
Modèle en 1. 12-pouces
Si vous êtes intéressé par la production de masse avancée de plaquettes de grande taille-, c'est celle-là. Il peut gérer plus de 125 plaquettes ou égales par bateau, ce qui le rend idéal pour la fabrication-de gros volumes et à grande échelle-de dispositifs à semi-conducteurs de base. De plus, il offre un contrôle précis de la température (±0,5 degré) et une zone de température constante supérieure ou égale à 850 mm, garantissant une épaisseur de film constante (WIW/WTW/RTR inférieure ou égale à ±2 %) pour chaque lot.
Modèle en 2. 8-pouces
Celui-ci est une question de flexibilité. Il fonctionne avec plusieurs méthodes d'oxydation -oxygène sec (Si) et oxygène humide (évaporation rapide/bain-marie/allumage HO)-il répond donc à la plupart des besoins courants de production de masse. En termes de température-, elle varie de 600-1 150 degrés avec une précision de contrôle inférieure ou égale à ±0,5 degrés, et sa zone de température constante (300-860 mm) offre une uniformité fiable du film (WIW/WTW inférieur ou égal à ±2 %). Il est conçu pour la production de masse de 8 pouces, de sorte que l'efficacité reste à la hauteur des demandes à grande échelle.
À qui s'adresse-t-il et où cela s'applique-t-il
Grands fabricants de semi-conducteurs : Le modèle 12-pouces est votre choix idéal pour lancer des puces CMOS, des dispositifs d'alimentation IGBT et d'autres composants de base en volumes élevés.
Entreprises d’électronique grand public/nouvelles énergies : Le modèle 8-pouces brille ici-que vous produisiez de l'électronique automobile, des pièces essentielles à la communication 5G, des puces électroniques grand public ou des semi-conducteurs de puissance, sa compatibilité multi-processus assure une production fluide.
Universités et instituts de recherche : Le modèle 8-pouces est parfait pour tester de nouveaux matériaux semi-conducteurs ou développer des prototypes d'appareils de pointe. Il s’adapte facilement aux différentes configurations de R&D, ce qui est un gros plus pour le travail en laboratoire.
Un petit mot sur la qualité : Nous utilisons des matériaux professionnels et une conception structurelle intelligente pour la chambre, de sorte que la pureté du film est garantie-aucune impureté indésirable ne gâcherait les choses. Et les deux modèles excellent dans les processus stables, grâce à un contrôle précis de la température et à une qualité de film constante.
Vous ne savez toujours pas ce qui vous convient le mieux ? Contactez-nous et nous vous aiderons à trouver le bon équipement pour votre flux de travail !
