Présentation du produit

Cet équipement RTP semi--automatique est très pratique, capable de traiter des plaquettes de 8 à 12 pouces. L'équipement RTP semi--automatique offre un contrôle précis de la température et une très faible teneur en oxygène, ce qui le rend idéal pour les applications nécessitant une pureté de processus élevée. De plus, il est riche en fonctionnalités-, prend en charge les méthodes de traitement atmosphérique et sous vide, et comprend une triple fonctionnalité de sécurité. Il est parfait pour les processus tels que l'optimisation ITO et le recuit d'alliages de siliciure dans une production de volume moyen-.

Avantages

Large adaptabilité :

Gère des tranches de 8 à 12 pouces, répondant aux besoins de production par lots de différentes tailles. Les configurations flexibles de lampes et de SCR s'adaptent à divers scénarios de processus.

L'automatisation améliore l'efficacité :

Bien que le chargement et le déchargement manuels des plaquettes soient toujours nécessaires, la porte de la chambre s'ouvre et se ferme automatiquement après le démarrage du processus, réduisant ainsi les interventions manuelles et améliorant l'efficacité opérationnelle et la cohérence du processus.

Ambiance précise :

Teneur en oxygène<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Sûr et fiable :

Équipé de triples fonctions de sécurité, combinées à un contrôle automatique des portes de la chambre, réduisant les risques opérationnels et de processus et garantissant un fonctionnement stable de l'équipement.

Paramètres

Modèle	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Taille de la plaquette	8 pouces et moins	12 pouces et moins
Taille	970 mm × 1 550 mm × 2 160 mm (L × P × H)	1050mm×1740mm×2240mm (W×D×H)
Plage de température	RT~~800 degrés (contrôlé par thermocople) 500 degrés ~ 1250 degrés (contrôlé par pyromètre)	RT~~800 degrés (contrôlé par thermocople) 500 degrés ~ 1250 degrés (contrôlé par pyromètre)
Taux de chauffage maximum	150 degrés/s --- Plaquette uniquement 20 degrés/s --- porteur SiC 30 degrés/s --- Revêtement support en graphite SiC	150 degrés/s --- Plaquette uniquement 20 degrés/s --- porteur SiC 30 degrés/s --- Revêtement support en graphite SiC
Uniformité de la température	Inférieur ou égal à ±3 degrés @ Inférieur ou égal à 600 degrés Inférieur ou égal à ±0,5 % à ＞600 degrés	Inférieur ou égal à ±3 degrés @ Inférieur ou égal à 600 degrés Inférieur ou égal à ±0,5 % à ＞600 degrés
Répétabilité de la température	±1 degré	±1 degré
Nombre de lampes/SCR	33 pièces / 10 lots	41 pièces / 16 lots 55 unités / 24 lots
MFC maximum	6	6
Pression la plus basse	30mTorr	30mTorr
Taux de fuite	10 mTorr/min	10 mTorr/min
O₂Pourcentage	<1 ppm	<1 ppm
Puissance maximale/moyenne	90/ 50 kW	100/60 kW
Tension	380V/ 60HZ/ triphasé 5 fils	380V/ 60HZ/ triphasé 5 fils
Méthode de contrôle	Contrôle PC	Contrôle PC

FAQ

1. La porte de la chambre ne s’ouvre/ne se ferme pas automatiquement ?

Vérifiez si le processus a démarré normalement. Redémarrez l'équipement et réessayez. Si le problème persiste, vérifiez le câblage du capteur de la porte de la chambre.

2.La teneur en oxygène dépasse 1 ppm ?

Remplacez-le par du gaz inerte-de haute pureté. Vérifiez les fuites dans le gazoduc. Réparez et testez à nouveau les niveaux d’oxygène.

3. Chauffage inégal des plaquettes ?

Confirmez que la taille de la plaquette est correcte (8/12 pouces). Nettoyez la chambre à quartz. Si le problème persiste, contactez un ingénieur pour régler la puissance de la lampe.

4.La plaquette glisse facilement lors du chargement/déchargement manuel ?

Nettoyez la surface du support. Poussez doucement la plaquette vers le centre pendant le chargement/déchargement. Portez des gants antidérapants-et sans poussière-.

5.Comment s’arrêter en cas d’urgence ?

Appuyez sur "EMO Emergency Stop" pour couper la source de chaleur. Après avoir résolu le problème, appuyez sur le bouton "Réinitialiser" pour redémarrer.