Présentation du produit

Le séchoir vertical pour plaquettes -celui-ci a été construit dans un souci de précision, spécialement adapté aux exigences strictes de ces industries.
Qu’est-ce qui le rend pratique ? Pour commencer, il existe deux chambres indépendantes-vous permettant d'exécuter différents processus simultanément sans-contamination croisée, ce qui représente un énorme gain de temps-sur les lignes de production très fréquentées. Ensuite, il y a le système de contrôle avancé ; il ne se contente pas de "contrôler" les choses, mais affine-chaque paramètre pour maintenir une cohérence solide-solide. Et le meilleur, c'est qu'il combine le nettoyage et le séchage en une seule unité - pas besoin de déplacer les plaquettes entre les machines, ce qui réduit la manipulation et le risque de dommages.

En fin de compte, ce qui importe aux fabricants, c'est la fiabilité et la pureté-et ce sèche-linge offre les deux. C'est le genre d'équipement qui non seulement répond aux normes de l'industrie, mais qui s'intègre parfaitement au fonctionnement des véritables équipes de production.

Applications

Le séchoir vertical pour plaquettes est conçu pour gérer les travaux de séchage après le nettoyage acide SPM et le nettoyage organique-deux étapes où le contrôle des résidus est primordial. Au-delà de cela, il prend également en charge les besoins de post-séchage pour le développement de la photolithographie, l'élimination des photorésists, la gravure ITO/BOE et le revêtement par centrifugation. Le plus grand avantage ici est sa cohérence : il garantit l’absence de contaminants résiduels ou de problèmes de particules, maintenant la qualité du processus stable lot après lot.

Ce séchoir vertical pour plaquettes brille également dans les scénarios d'application-à enjeux élevés. Pour le conditionnement au niveau tranche de micro-capteurs et chipsets, il maintient le taux de fragmentation en dessous de 1/10 000-un chiffre qui se traduit directement par des économies de coûts pour les fabricants. De plus, il est bien-adapté au traitement de plaquettes spéciales sensibles à la température-, telles que l'arséniure de gallium et le saphir. Ces matériaux sont délicats, mais le séchoir répond à leurs exigences d'ultra-propreté et de faibles dommages-, vous n'avez donc pas à vous soucier des défauts liés au processus.

Avantages

Étanchéité à l'azote Mayrinth, isolation de la cavité et de la cavité, sans effet d'étanchéité par contact, pour garantir les exigences de l'environnement du processus.

Détection de choc en ligne

Fonction d'élimination électrostatique, le produit produira de l'électricité statique à grande vitesse, l'utilisation d'un dispositif d'élimination électrostatique à haute tension pour rendre l'état de neutralisation de la surface du produit

Fonction de réinitialisation automatique-mécanique : arrêtez le boîtier de puce de veille face vers le haut

Paramètres

Catégorie	Article	Détails des spécifications
Informations de base	Nom du produit	Sécheur vertical à double chambre
	Numéro de modèle	Semi-propre-QX-61-2M-A
	Taille (référence)	L×P×H=Largeur de surface 490 mm × Profondeur 937 mm × Hauteur 1880 mm
	Poids (environ)	260 kg
Cavité et cassette de traitement	Cavité de processus	Double cavité (supérieure et inférieure), contrôlable indépendamment ; peut placer un rotor porteur personnalisé de 6"
	Type de cassette utilisé	KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm)
	Spécifications des pièces de nettoyage et de séchage	Équipé de 2 rotors personnalisés de 4 " ; cassette fournie par le client, les pièces du rotor sont des échantillons de conception finale
Paramètres opérationnels	Réglage du temps de traitement	1s - 900s ; précision de maintenance Inférieur ou égal à ±5%
	Vitesse de travail	100-2500rpm/min (réglable selon les caractéristiques du produit et le processus) ; erreur de vitesse < ±2 %
	Plage de température de séchage en chambre	Minimum : Supérieur ou égal à 45 degrés ; Maximum : inférieur ou égal à 85 degrés
	Exigence de propreté à sec	Particules supérieures ou égales à 0,3μm < 30 grains/plaquette
	DISPONIBILITÉ DE L'ÉQUIPEMENT	Supérieur ou égal à 95 % ; temps de travail mensuel moyen sans problème-sans problème Supérieur ou égal à 648 H
	Taux de fragmentation des opérations	Inférieur ou égal à 1/10000
Exigences des médias	Eau désionisée	Plage de pression : 0,2 ~ 0,4 Mpa ; débit maximum : 0,7m³/h
Exigences des médias	Azote	Plage de pression : 0,5 ~ 0,6 Mpa ; consommation maximale : 18-20m³/h ; utilisé pour le chauffage et le scellement
Fonctions et protections	Nettoyage par pulvérisation	Équipé d'un dispositif de nettoyage par pulvérisation et d'un processus de-auto-nettoyage de la cavité
	Étanchéité pendant le fonctionnement	Porte de la chambre et arbre moteur scellés à l'azote
	Détection des fuites	Capteur de fuite-intégré ; déclenche une alarme de fuite pour éviter les fuites
	Protection des processus	Une fois le processus terminé, l'interface ne peut pas fonctionner si la porte n'est pas ouverte pour retirer les produits, évitant ainsi une opération secondaire
Système de contrôle	Contrôle de base	Contrôle programmable par API ; enregistre 10 sections de processus (10 étapes par section) ; les utilisateurs peuvent activer/désactiver chaque sous-fonction selon leurs besoins
	Contrôle des autorisations	2 types de contrôle d'autorisation d'opération, chacun configuré avec un mot de passe d'autorisation
	Fonction d'affichage	L'écran affiche les informations de chaque processus
	Mode de contrôle et interface	Chaque chambre peut être contrôlée indépendamment ; interface de fonctionnement : écran tactile LCD

FAQ

Pour quelles industries ce séchoir vertical de plaquettes est-il conçu ?

Il est principalement adapté aux secteurs des semi-conducteurs et de la microélectronique.-pensez à des scénarios dans lesquels-le séchage de plaquettes de haute pureté n'est pas-négociable. Chaque élément de sa conception s'appuie sur les besoins uniques de ces industries.

Quels processus de base peut-il gérer ?

Il couvre toute une gamme d’étapes clés du traitement des plaquettes. Plus précisément, il prend en charge les travaux de post--après le nettoyage à l'acide SPM, le nettoyage aux solvants organiques, le développement de la photolithographie, l'élimination de la résine photosensible, la gravure ITO/BOE et le revêtement par rotation-tous les points critiques où un séchage complet est important.

Quel est l'avantage de sa conception à double-cavité ?

Les cavités supérieure et inférieure fonctionnent indépendamment-vous pouvez contrôler chacune d'entre elles séparément. Cela signifie que vous pouvez traiter des plaquettes dans les deux en même temps, ce qui augmente considérablement l'efficacité de la production. De plus, si différents processus nécessitent des paramètres différents, chaque cavité peut parfaitement gérer ses propres paramètres.

Quelle est la norme de propreté après séchage ?

C'est assez strict, et pour cause. Après séchage, chaque tranche contient moins de 30 particules de 0,3 μm ou plus. Cela correspond parfaitement aux exigences de haute-pureté de la fabrication de semi-conducteurs.

Est-ce facile à utiliser ?

Absolument. Il est livré avec un écran tactile LCD et une commande programmable PLC-super intuitive. Vous pouvez stocker jusqu'à 10 sections de processus, et chaque section peut comporter 10 étapes. Il existe également une gestion des mots de passe à double-autorisation pour la sécurité. Même les nouveaux opérateurs acquièrent rapidement les bases.

Quelle est la fiabilité de l’équipement ?

Sa stabilité opérationnelle est un argument de vente important. Le temps de disponibilité de l'équipement atteint au moins 95 % et il fonctionne sans problème pendant 648 heures en moyenne ou plus chaque mois. Mieux encore, le taux de fragmentation des plaquettes ne dépasse pas 1/10 000 pendant le fonctionnement-vous ne perdrez donc pas grand-chose à cause de problèmes matériels.

De quels médias a-t-il besoin pour fonctionner ?

Seulement deux types : l’eau déminéralisée et l’azote. L'eau déminéralisée a besoin d'une pression comprise entre 0,2-0,4Mpa, avec un débit maximum de 0,7m³/h. L'azote nécessite une pression de 0,5 à 0,6 MPa et utilise au maximum 18 à 20 m³/h. Ils sont utilisés respectivement pour le nettoyage, le chauffage et le scellement, chacun jouant un rôle clé dans la bonne exécution du travail.

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