Présentation du produit
Le sécheur de plaquettes horizontal est un sécheur à flux laminaire en ligne entièrement automatique--sur mesure-conçu pour la fabrication de semi-conducteurs ! Il regroupe un contrôle intelligent, un fonctionnement stable et un séchage de haute-précision tout en un. Conçu pour être associé à des machines de nettoyage ou à des équipements de gravure de plaquettes, il obtient les substrats semi-conducteurs grâce à un traitement « Séchage → Séchage » de manière transparente.
Avantages
Ce séchoir à plaquettes horizontal est un séchoir à flux laminaire (modèle entièrement automatique sur banc en ligne) qui peut être intégré à la machine de nettoyage ou à la machine à graver les plaquettes et peut être personnalisé en fonction des besoins du client. Grâce à la puce de substrat de nettoyage QDR ou DIW (ultra-nettoyage à l'eau pure), de sorte que l'équipement de nettoyage soit sec (Sécher) sécher (Sécher).
Avantages
Le contrôle intelligent PLC rend toutes les opérations fiables et les programmes intelligents.
Adopter un entraînement par courroie de moteur à fréquence variable, un joint à l'azote de l'arbre de rotation à faible entretien, une conception en labyrinthe, garantir l'isolation de la cavité de fonctionnement de l'équipement de l'environnement externe.
Le mécanisme de rotation est vérifié par un équilibre dynamique précis et le cadre principal adopte la structure portante pour assurer l'équilibre et la stabilité du système, réduire la génération de source de vibration et réduire considérablement le taux de fragmentation.
Le dessus adopte un système auxiliaire de chauffage en silicone importé, séchant et séchant sans eau.
Utilisation d'un système de chauffage électrique, chauffage rapide, facile à contrôler et température stable.
Paramètres
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Informations de base |
Dimensions |
780 mm (L) × 1 510 mm (P) × 1 140 mm (H) (hauteur de la porte : 1 820 mm) |
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Poids |
Environ. 450 kg |
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Paramètres de spécification |
Exigence de tension |
CA 380 V, triphasé, 50 Hz/60 Hz (40 A) |
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Air comprimé (CDA) |
0,5MPa, 15L/min, interface de raccord de tuyau 3/8" |
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Paramètre d'échappement |
Débit maximum : 18-20 m³/h, diamètre de l'interface : 110 mm, supportant un joint lâche ou un raccord de tuyau. |
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Paramètre de drainage |
Débit maximum : 0,5 m³/h, interface : joint lâche PVC DN32 |
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Configuration du moteur |
AC 380V / triphasé / 5 fils / 3HP |
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Contrôle de vitesse |
Contrôle de l'onduleur ; Vitesse de travail standard : 800 tr/min, vitesse maximale : 999 tr/min ; La limite supérieure de vitesse peut être définie en fonction des matériaux du client |
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Temps d'accélération/décélération |
Accélération : 25 s de 0 RPM à 600 RPM ; Décélération : 40 s de 600 tr/min à 0 tr/min (configurable) |
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Sens de rotation |
Dans le sens des aiguilles d'une montre (vue de dessus) |
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Indice de vibration |
À 350 tr/min, le déplacement P-P des axes X, Y et Z est inférieur ou égal à 90 μm |
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Minuteur |
Configurable via l'interface homme-machine (écran tactile) |
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Traitement de surface des équipements |
Processus de pulvérisation de tôle |
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Indicateurs de performance |
Charge-Capacité portante |
Capable de transporter 2 cassettes « à couverture complète » de 6-pouces / 2 cassettes et plaquettes à « couverture complète » de 4 pouces (cassettes fournies par le client) |
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Matériaux applicables |
Divers matériaux semi-conducteurs d'épaisseur supérieure ou égale à 300 μm (inclus) |
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Taux de fragmentation |
Inférieur ou égal à 1/10 000 (inclus) ; Remarque : La fragmentation causée par des accidents inattendus ou des pannes dues à des composants de la machine est incluse dans cet indicateur ; La fragmentation causée par des défauts du produit n'est pas incluse |
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Informations de base |
Dimensions de l'équipement |
780 mm (L) × 1 510 mm (P) × 1 140 mm (H) (hauteur de la porte : 1 820 mm) |
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Poids de l'équipement |
Environ. 450 kg |
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Paramètres de spécification |
Exigence de tension |
CA 380 V, triphasé, 50 Hz/60 Hz (40 A) |
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Air comprimé (CDA) |
0,5MPa, 15L/min, interface de raccord de tuyau 3/8" |
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Paramètre d'échappement |
Débit maximum : 18-20 m³/h, diamètre de l'interface : 110 mm, supportant un joint lâche ou un raccord de tuyau. |
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Paramètre de drainage |
Débit maximum : 0,5 m³/h, interface : joint lâche PVC DN32 |
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Configuration du moteur |
AC 380V / triphasé / 5 fils / 3HP |
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Contrôle de vitesse |
Contrôle de l'onduleur ; Vitesse de travail standard : 800 tr/min, vitesse maximale : 999 tr/min ; La limite supérieure de vitesse peut être définie en fonction des matériaux du client |
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Temps d'accélération/décélération |
Accélération : 25 s de 0 RPM à 600 RPM ; Décélération : 40 s de 600 tr/min à 0 tr/min (configurable) |
FAQ
1.À quels matériaux ce séchoir à plaquettes horizontal est-il adapté ?
Il est spécialisé dans le séchage de divers matériaux semi-conducteurs d'une épaisseur supérieure ou égale à 300 μm (inclus), compatible avec les cassettes « full-cover » de 6-pouces et 4 pouces (cassettes fournies par le client).
2.Quels sont les principaux avantages en termes de performances ?
Les principaux avantages incluent un taux de fragmentation aussi faible que inférieur ou égal à 1/10 000, un contrôle intelligent PLC, un joint d'arbre à l'azote (conception en labyrinthe) pour une isolation environnementale et un chauffage électrique rapide et stable sans gouttes après séchage.
3.Peut-il être intégré aux lignes de production existantes ?
Oui, il s'agit d'un modèle de banc en ligne-entièrement automatique qui peut être intégré à des machines de nettoyage ou à des équipements de gravure de plaquettes, prenant en charge l'intégration du processus "Séchage → Séchage".
4. L'opération est-elle-conviviale ?
Equipé d'une IHM (écran tactile) et de câbles de 5 m, il permet un réglage facile de la minuterie, de la limite de vitesse et d'autres paramètres ; le couvercle de porte entraîné par cylindre-permet un fonctionnement pratique.
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