Présentation du produit
La machine de guidage de plaquettes (machine de commutation automatique) est un outil spécialisé de haute-précision - spécialement conçu pour la manipulation de plaquettes de 6 pouces dans les lignes de production de circuits intégrés à semi-conducteurs. Il permet un transfert transparent des plaquettes entre les boîtes à plaquettes, ainsi qu'entre les boîtes à plaquettes et les bateaux. Il s'agit d'un maillon clé pour rationaliser le processus de fabrication des semi-conducteurs.
Applications
La machine de guidage de plaquettes conçue pour les lignes de production de circuits intégrés à semi-conducteurs. Cette machine sert à transférer des plaquettes de 6-pouces - entre des boîtes de plaquettes, mais également entre des boîtes et des bateaux. Il permet de déplacer les plaquettes efficacement, sans aucun dommage, garantissant ainsi le bon déroulement des flux de fabrication.
Avantages
Pendant l'opération, la vitesse, le temps et le couple sont réglés en fonction du matériau de la plaquette, de son épaisseur et de la force portante maximale des fragments.
Moteur : moteur micro-CC, contrôleur de commande de moteur de haute-précision.
Transmission par courroie synchrone : transmission de contrepoids par courroie synchrone, en cas de mouvement d'arrêt de glissement de résistance, la carte de défense maximale, les débris.
Surveillance de sécurité : détection du positionnement de chaque caisse de bateau de station, sans détection de pièce, détection de position de marche.
Fonctions logicielles : le fonctionnement manuel, le processus de sélection, le réglage des paramètres, l'avertissement et la formule peuvent être modifiés à partir de l'interface d'exploitation.
Paramètres
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Informations de base |
Fonction principale : utilisé pour l'opération de guidage de tranches de 6 pouces. |
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Spécification de l'équipement : 25 pièces/50 pièces. |
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Référence de taille : env. L650 mm × P550 mm × H790 mm (sous réserve de la conception finale) |
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Principales caractéristiques de la structure |
Taille du corps principal : L650 mm × P550 mm × H790 mm (sous réserve de la conception finale) |
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Matériau d'apparence : le corps principal est constitué de plaques W-PP 10 t par soudage d'assemblage. |
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Châssis d'équipement : assemblage de châssis SUS 90 × 40 × 2T, avec structure solide |
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Système de tuyauterie : conception modulaire à une chambre |
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Élimination statique : adoption de la méthode d'élimination statique du couvercle du ventilateur vertical vers le bas |
FAQ
Quel est l'objectif principal de cette machine de guidage de plaquettes ?
Il est spécialisé dans le guidage de tranches de 6 pouces, permettant un transfert transparent entre les boîtes de tranches et entre les boîtes de tranches et les bateaux dans les lignes de production de circuits intégrés à semi-conducteurs.
Avec quels types de plaquettes et matériaux est-il compatible ?
Il prend en charge des tranches de 6 pouces faites de matériaux courants tels que le silicium, l'arséniure de gallium et le carbure de silicium, y compris des tranches standard et épaisses/minces (paramètres réglables pour s'adapter à différentes épaisseurs).
Quelles sont les principales spécifications (taille, capacité, etc.) ?
Taille (référence) : L650 mm × P550 mm × H790 mm (sous réserve de la conception finale) ; options de capacité : 25 PCS / 50 PCS par lot.
Peut-il être intégré aux lignes de production de semi-conducteurs existantes ?
Oui. Son système de tuyauterie modulaire et ses dimensions compatibles permettent une intégration facile avec des équipements tiers-(par exemple, chargeurs de plaquettes, machines de nettoyage) sans modifications majeures de la ligne.
Comment prévient-il les dommages aux plaquettes pendant le transfert ?
Il utilise une transmission à contrepoids par courroie synchrone (s'arrête immédiatement lorsqu'il rencontre une résistance) et une vitesse/couple réglable (en fonction du matériau/de l'épaisseur de la plaquette) pour minimiser la fragmentation et les rayures.
Dispose-t-il de fonctions d’élimination de l’électricité statique et de contrôle de la contamination ?
Oui. Il est équipé d'un capot de ventilateur vertical descendant pour l'élimination de l'électricité statique, et le corps en W-PP est résistant à la corrosion-et facile à nettoyer, répondant aux exigences des salles blanches en matière de semi-conducteurs.
De quelles fonctions de surveillance de sécurité dispose-t-il ?
Il comprend la détection du positionnement de la boîte à bateaux, la détection de la présence/absence des plaquettes et la détection de la position de fonctionnement pour éviter un mauvais alignement ou des plaquettes manquantes.
L'opération est-elle-conviviale ? Les paramètres peuvent-ils être ajustés ?
Oui. Il dispose d'une interface homme-machine prenant en charge le fonctionnement manuel, la sélection de processus, le réglage des paramètres et la modification de formules-aucune compétence professionnelle en programmation n'est requise.
La machine peut-elle être personnalisée (par exemple, taille, capacité) ?
Le modèle standard actuel est destiné aux tranches de 6 pouces (capacité de 25/50 PCS). Une personnalisation de la taille, de la capacité ou de la compatibilité des matériaux spéciaux est disponible ; veuillez nous contacter pour des exigences spécifiques.
Quels services après-vente-sont fournis ?
Nous proposons des conseils d'installation, une formation au fonctionnement et une assistance technique. Pour les problèmes de qualité, nous fournissons un dépannage et une fourniture de pièces de rechange en temps opportun.
Existe-t-il une certification pour la machine ?
La machine est conforme aux normes d'équipement de l'industrie des semi-conducteurs. Si vous avez besoin de certifications spécifiques (par exemple CE, ISO), veuillez nous en informer à l'avance pour des arrangements personnalisés.
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