Présentation du produit
Ce nettoyeur de tranche unique est spécialement conçu pour le travail sur les tranches de semi-conducteurs-couvrant tous les formats, des formats 8 pouces à 12 pouces, sans exception. Chaque modèle est livré avec des contrôles de processus précis (pensez au chauffage, à la concentration, au débit) et à la communication SECS/GEM, donc l'intégrer dans les usines intelligentes est un jeu d'enfant. Mieux encore, il est entièrement configurable pour répondre à tous les besoins de votre application.
Voici comment se décompose la série :
SWC100 :
Conçu pour les plaquettes de 12- pouces. Il dispose de 8 chambres et fonctionne avec 4 FOUP, gérant tous les processus humides standard dont vous auriez besoin au quotidien-.
SWC200 :
Une autre option ciblée de 12 pouces, mais avec un boost-12 chambres au lieu de 8, plus une compatibilité 4 FOUP. Les processus de base ? Exactement le même que le SC3100, donc pas de nouvelle courbe d'apprentissage.
SEC Plus :
Le flexible du groupe. Il fonctionne avec des tranches de 8-pouces et de 12 pouces, et vous pouvez personnaliser le nombre de chambres de 2 à 8. Parfait pour les configurations de dispositifs d'alimentation et de processus à base de silicium.
Avantages
◆ Flexibilité de format et de configuration
SWC100 / SWC 200 : support fixe de 12-pouces (8/12 chambres) pour une production standard à grand volume.
SEC Plus : compatibilité 8-12-pouces + chambres personnalisables, s'adaptant aux flux de travail des appareils mixtes format/puissance.
◆ Contrôle précis des processus
Tous les modèles : contrôle du chauffage/concentration/débit/pression, plus produits chimiques en option (DHF, SC1, etc.) et 3 buses pour un traitement uniforme.
SEC Plus : ajout d'une séparation des gaz d'échappement acide/base/organique + récupération chimique, améliorant la sécurité et la rentabilité.
◆ Large compatibilité
SWC100 / SWC 200 : prise en charge du support 4FOUP pour l'intégration d'une usine de 12 pouces.
SEC Plus : compatibilité 2 à 4 cassettes ouvertes/SMIF/FOUP, s'adaptant aux lignes de production anciennes et modernes.
Applications
SWC100 / SWC 200 (plaquettes de 12 pouces)
Processus de base : nettoyage RCA, nettoyage GATE, gravure/décapage d'oxyde, élimination de photorésist.
Utilisations spécifiques : élimination des contaminations particulaires/métalliques/organiques, nettoyage pré/post-, nettoyage des interconnexions Al/Cu (pour puces logiques/mémoire).
SEC Plus (plaquettes de 8 à 12 pouces)
Appareils cibles : appareils électriques en carbure de silicium/silicium, appareils de traitement à base de silicium-.
Processus spécifiques : amincissement/nettoyage de la face arrière, nettoyage des tranches fines, gravure H3PO4 à haute -température, ainsi qu'élimination standard de la contamination et nettoyage des interconnexions.
Paramètres
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Spécification |
SWC100 |
SWC200 |
SEC Plus |
|
Taille de la plaquette |
12 pouces |
12 pouces |
8-12 pouces |
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Chambres |
8 chambres |
12 chambres |
2-8 chambres (personnalisables) |
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Compatibilité des opérateurs |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Cassette ouverte/SMIF/FOUP |
|
Chimies prises en charge |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Fonctionnalités de contrôle des processus |
Contrôle chauffage/concentration/débit/pression |
Contrôle chauffage/concentration/débit/pression |
Contrôle chauffage/concentration/débit/pression |
|
Soutien à l'approvisionnement en produits chimiques |
N/A |
N/A |
CCSS,LCSS |
|
Gestion des gaz d'échappement |
N/A |
N/A |
Échappement séparé (acide/base/organiques) |
|
Fonctionnalités supplémentaires |
N/A |
N/A |
Récupération chimique ; protection contre la surchauffe du bain; fuite |
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Protocole de communication |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Quelles tailles de plaquettes ces modèles prennent-ils en charge ?
SWC100 / SWC 200 ne prend en charge que les tranches de 12 pouces ; le SEC Plus est flexible pour les tranches de 8 à 12 pouces.
Quelle est la différence entre SWC100 et SWC 200 ?
Ils partagent les mêmes capacités de traitement de 12- pouces : le SC3100 dispose de 8 chambres, tandis que le SWC 200 s'étend à 12 chambres pour un débit plus élevé.
Quel modèle convient au traitement des appareils électriques ?
Le SEC Plus est optimisé pour les dispositifs d'alimentation en carbure de silicium/silicium (prend en charge l'amincissement arrière et la gravure H3PO4 à haute température).
Ces systèmes peuvent-ils se connecter au MES de notre usine ?
Oui,-tous les modèles prennent entièrement en charge le protocole de communication SECS/GEM pour l'intégration en usine.
La série SE prend-elle en charge des fonctionnalités de réduction des coûts-de produits chimiques ?
Oui, il inclut une fonctionnalité de récupération chimique (recycle les produits chimiques du procédé) et un drainage des déchets classifiés.
Avec quels transporteurs ces systèmes fonctionnent-ils ?
SWC100 / SWC 200 utilisent 4FOUP ; le SEC Plus prend en charge 2 à 4 cassettes ouvertes/SMIF/FOUP (s'adapte aux lignes anciennes/modernes).
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