Présentation du produit
Le système de décapage photorésistant est conçu uniquement pour les tranches de 6 à 12 -pouces-idéal pour les travaux de décollage du métal-dans toutes sortes de domaines. Il est livré prêt à l'emploi avec une configuration à 3 chambres (trempage, décapage, nettoyage), mais si vous avez besoin de plus, nous pouvons personnaliser les cavités multi-processus pour les adapter à votre flux de travail.
Qu’est-ce qui le distingue ? Des fonctionnalités utiles telles que le chauffage NMP (allant de la température ambiante jusqu'à 90 degrés ±2 degrés) et le dégommage à haute pression de 30 MPa-dégommage-, en plus du recyclage du liquide de traitement, ce qui réduit les déchets. Nous n'avons pas non plus lésiné sur les performances ou la sécurité : le décapage par ultrasons garantit une élimination rapide et complète du métal, tandis que le -système d'extinction automatique d'incendie au CO₂ intégré permet d'effectuer des opérations-sans souci.
Avantages
Compatibilité étendue des plaquettes et des processus
Prend en charge les tranches de 6 à 12 - pouces ; s'adapte aux processus de décollage des appareils de puissance, filtres, MEMS, etc.
Performance de décapage efficace
Combine le contrôle de la température NMP, le dégommage à haute pression de 30 MPa-et le décapage par ultrasons pour un retrait complet du métal.
Optimisation des coûts et de la sécurité
Le recyclage des liquides de traitement (réutilisation filtrée) réduit les coûts opérationnels ; L'extinction automatique d'incendie au CO₂ garantit un fonctionnement sûr.
Configuration flexible
Configuration standard à 3 -chambres + cavités multi-processus en option, répondant à divers besoins de production.
Applications
Champs principaux :Appareils d'alimentation, filtres, MEMS (micro-systèmes électromécaniques) et autres domaines liés aux semi-conducteurs-.
Processus clé :Décollage du métal-(suppression de couches métalliques spécifiques via un traitement humide) pour la fabrication de la structure de l'appareil.
Paramètres
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Spécification |
Détails |
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Taille de la plaquette |
6-12 pouces |
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Configuration standard |
3 chambres (trempage, décapage, nettoyage) |
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Configuration facultative |
Cavités de processus multiples (personnalisables) |
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Paramètres de chauffage NMP |
Température ambiante ~ 90 degrés ± 2 degrés |
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Démucilagination à haute-pression |
Pression maximale: 30MPa |
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Fonctions clés |
- Processus de recyclage des liquides (réutilisation filtrée) |
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Système de sécurité |
Système d'extinction automatique d'incendie au CO2 |
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Champs d'application |
Appareils d'alimentation, filtres, MEMS, etc. |
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Processus de base |
Metal lift-off (décapage humide des couches métalliques) |
FAQ
Quelles tailles de plaquettes cet équipement prend-il en charge ?
Il est compatible avec les tranches de 6 à 12 pouces, couvrant les formats courants dans les dispositifs d'alimentation, les MEMS, etc.
Quelle est la configuration standard de la chambre ?
La configuration standard comprend 3 chambres : trempage, décapage et nettoyage (des cavités multi--processus personnalisables sont également prises en charge).
Quelle plage de température le chauffage NMP prend-il en charge ?
Il peut chauffer le NMP de la température ambiante jusqu'à 90 degrés ± 2 degrés, s'adaptant aux différents besoins du processus de décapage.
Quelle est la puissance de la fonction de dégommage à haute pression ?
La pression maximale du dégommage à haute-pression atteint 30 MPa, garantissant une élimination complète des matières résiduelles.
Est-il doté de-fonctionnalités permettant de réduire les coûts ?
Oui,-le liquide de traitement peut être recyclé et filtré pour être réutilisé, réduisant ainsi les coûts opérationnels.
De quelles mesures de sécurité dispose-t-il ?
Il est équipé d'un système d'extinction automatique d'incendie au CO₂ pour garantir un fonctionnement sûr pendant le traitement.
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