Présentation du produit
Les systèmes d'évaporation par résistance de Nice-Tech sont des équipements PVD spécialement-conçus pour le dépôt de couches minces-de haute qualité-deux modèles de base pour répondre à vos besoins : le RES 100 et le RES 200I.
Le RES 100 est un appareil compact et polyvalent-(effectue à la fois l'évaporation par faisceau d'électrons et par résistance) avec une conception-peu encombrante-idéale si votre laboratoire ou votre zone de production est restreint en espace. Le RES 200I ? C'est un spécialiste, construit spécifiquement pour les travaux professionnels de dépôt de bosses d'indium.
Les deux modèles intègrent une technologie de chauffage par résistance éprouvée, des-composants de vide de premier ordre et le système de contrôle entièrement automatique VKOS de Vikaitech-afin que vous obteniez une formation de film cohérente et fiable à chaque fois. En termes de performances-, ils offrent : une uniformité de revêtement de ± 3 %, une répétabilité de ± 2 % et un vide ultime de 1E-5Pa. Que vous exécutiez des tests de R&D en laboratoire ou une production industrielle spécialisée, ces systèmes cochent toutes les cases.
Avantages
Performances ciblées
RES 200I optimise le dépôt de bosses d'indium pour le soudage par inversion ; RES 100 effectue une évaporation à double faisceau d'électrons/résistance, s'adaptant à de petits travaux multi-matériaux-en lots.
Compacte et efficace
L'empreinte au sol de 3,15 m×2,4 m×2,2 m du RES 100 permet d'économiser de l'espace. Les deux modèles ont un entretien simple et une automatisation élevée, réduisant ainsi le travail manuel.
Qualité stable
Utilise des composants de base de-marques de premier plan + un contrôle précis de la température (RES 100 : -50 degrés ~ 500 degrés ; RES 200I : -80 degrés ~ 200 degrés) pour une pureté constante du film.
Adaptation flexible
Fonctionne avec In, métaux, diélectriques. Convient à la production/R&D en petits lots ; Fixations dôme/plaque en option pour différentes pièces.
Applications
Procédés industriels spécialisés :RES 200I pour le dépôt de billes d'indium en soudage par inversion (assemblage de composants électroniques).
Laboratoire & R&D :RES 100 prend en charge la R&D en petits lots-de nouveaux matériaux (optique de précision, microélectronique) dans les universités/instituts.
Production en petits-lots :Composants électroniques personnalisés, pièces optiques, dispositifs biomédicaux (films minces de haute-pureté).
Infrarouge et optoélectronique :Solutions spécialisées en couches minces-pour les détecteurs infrarouges et les dispositifs optoélectroniques.
Paramètres
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Catégorie |
Article |
T360 (type compact) |
T550I (type d'évaporation d'indium spécialisé) |
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Informations générales |
Technologie de base |
PVD-Résistance/Évaporation par faisceau d'électrons |
PVD-Évaporation de résistance (dépôt d'indium) |
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Système de contrôle |
Système de contrôle entièrement automatique VKOS (auto--développé) |
Système de contrôle entièrement automatique VKOS (auto--développé) |
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Composants de base |
Pièces de marques de renommée internationale (pompe à vide, jauge, etc.) |
Pièces de marque de renommée internationale (pompe à vide, |
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Paramètres de performances |
Uniformité du revêtement |
±3% |
±3% |
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Répétabilité du revêtement |
±2% |
±2% |
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Vide ultime |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
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Plage de contrôle de la température |
-50 degrés ~ 500 degrés |
-80 degrés ~ 200 degrés |
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lon Source |
Source d'ions Kaufman & Hall |
Source d'ions Kaufman & Hall |
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Détails de configuration |
Type de chambre |
Chambre compacte unique |
Chambre spécialisée unique |
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Calendrier |
Dôme et Plaque |
Appareil spécialisé pour le dépôt d'indium |
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Fonctions clés |
Évaporation double-mode (résistance/faisceau d'électrons) ; petit-traitement par lots |
Dépôt professionnel de bosses d'indium ; soudage par inversion |
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Dimensions physiques |
Espace requis (LxLxH) |
3,15mx2,4mx2,2m |
3,3mx2,7mx2,2m |
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