Systèmes d'évaporation à résistance

Systèmes d'évaporation à résistance

Les systèmes d'évaporation par résistance de Nice-Tech sont des équipements PVD spécialement-conçus pour le dépôt de couches minces-de haute qualité- : deux modèles principaux pour répondre à vos besoins : le RES 100 et le RES 200I.
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Description

Présentation du produit

 

Les systèmes d'évaporation par résistance de Nice-Tech sont des équipements PVD spécialement-conçus pour le dépôt de couches minces-de haute qualité-deux modèles de base pour répondre à vos besoins : le RES 100 et le RES 200I.


Le RES 100 est un appareil compact et polyvalent-(effectue à la fois l'évaporation par faisceau d'électrons et par résistance) avec une conception-peu encombrante-idéale si votre laboratoire ou votre zone de production est restreint en espace. Le RES 200I ? C'est un spécialiste, construit spécifiquement pour les travaux professionnels de dépôt de bosses d'indium.


Les deux modèles intègrent une technologie de chauffage par résistance éprouvée, des-composants de vide de premier ordre et le système de contrôle entièrement automatique VKOS de Vikaitech-afin que vous obteniez une formation de film cohérente et fiable à chaque fois. En termes de performances-, ils offrent : une uniformité de revêtement de ± 3 %, une répétabilité de ± 2 % et un vide ultime de 1E-5Pa. Que vous exécutiez des tests de R&D en laboratoire ou une production industrielle spécialisée, ces systèmes cochent toutes les cases.

 

Avantages

Performances ciblées

RES 200I optimise le dépôt de bosses d'indium pour le soudage par inversion ; RES 100 effectue une évaporation à double faisceau d'électrons/résistance, s'adaptant à de petits travaux multi-matériaux-en lots.

Compacte et efficace

L'empreinte au sol de 3,15 m×2,4 m×2,2 m du RES 100 permet d'économiser de l'espace. Les deux modèles ont un entretien simple et une automatisation élevée, réduisant ainsi le travail manuel.

Qualité stable

Utilise des composants de base de-marques de premier plan + un contrôle précis de la température (RES 100 : -50 degrés ~ 500 degrés ; RES 200I : -80 degrés ~ 200 degrés) pour une pureté constante du film.

Adaptation flexible

Fonctionne avec In, métaux, diélectriques. Convient à la production/R&D en petits lots ; Fixations dôme/plaque en option pour différentes pièces.

 

Applications

01/

Procédés industriels spécialisés :RES 200I pour le dépôt de billes d'indium en soudage par inversion (assemblage de composants électroniques).

02/

Laboratoire & R&D :RES 100 prend en charge la R&D en petits lots-de nouveaux matériaux (optique de précision, microélectronique) dans les universités/instituts.

03/

Production en petits-lots :Composants électroniques personnalisés, pièces optiques, dispositifs biomédicaux (films minces de haute-pureté).

04/

Infrarouge et optoélectronique :Solutions spécialisées en couches minces-pour les détecteurs infrarouges et les dispositifs optoélectroniques.

 

Paramètres

 

Catégorie

Article

T360 (type compact)

T550I (type d'évaporation d'indium spécialisé)

Informations générales

Technologie de base

PVD-Résistance/Évaporation par faisceau d'électrons

PVD-Évaporation de résistance (dépôt d'indium)

Système de contrôle

Système de contrôle entièrement automatique VKOS (auto--développé)

Système de contrôle entièrement automatique VKOS (auto--développé)

Composants de base

Pièces de marques de renommée internationale (pompe à vide, jauge, etc.)

Pièces de marque de renommée internationale (pompe à vide,
jauge, etc.)

Paramètres de performances

Uniformité du revêtement

±3%

±3%

Répétabilité du revêtement

±2%

±2%

Vide ultime

1E-5Pa

1E-5Pa

Plage de contrôle de la température

-50 degrés ~ 500 degrés

-80 degrés ~ 200 degrés

lon Source

Source d'ions Kaufman & Hall

Source d'ions Kaufman & Hall

Détails de configuration

Type de chambre

Chambre compacte unique

Chambre spécialisée unique

Calendrier

Dôme et Plaque

Appareil spécialisé pour le dépôt d'indium

Fonctions clés

Évaporation double-mode (résistance/faisceau d'électrons) ; petit-traitement par lots

Dépôt professionnel de bosses d'indium ; soudage par inversion
adaptation des processus

Dimensions physiques

Espace requis (LxLxH)

3,15mx2,4mx2,2m

3,3mx2,7mx2,2m

 

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